光譜橢偏儀

SE-VM-L

武漢頤光科技

公共分析測(cè)試平臺(tái)1

正常

1、光譜范圍：210~1650nm；可測(cè)厚度范圍：1nm-10μm；

2、測(cè)量時(shí)間：＜15秒/次（可調(diào)），膜厚重復(fù)精度：優(yōu)于 0.005nm；折射率重復(fù)精度：0.0002；

3、入射角范圍：45-90°（5°進(jìn)步）；

4、入射角調(diào)節(jié)方式：手動(dòng)變角，手動(dòng)找焦。