分辨率: 5.0nm @30kV SE

  放大倍數(shù): 15x – 150,000x

  加速電壓: 1kv - 30kv（step1kV）

  磁透鏡系統(tǒng): 雙聚光鏡

  物鏡光闌: 4位可移動(dòng)，搖擺對(duì)中

  掃描光柵電位移及旋轉(zhuǎn): +/-50um ，0-360°

  樣品室: 6個(gè)接口，可接配內(nèi)外置EDS。

  樣品臺(tái): X=35mm（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）

       Y= 35mm（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）

       T=0-45°（馬達(dá)驅(qū)動(dòng)）    

       R=360°

       Z=5-50mm         

  樣品尺寸（最大）: 70mm (W) x 45mm (H)

  EM-30+高分辨率臺(tái)式（桌面式）掃描電鏡采用大型鎢燈絲電鏡光路設(shè)計(jì)，兩級(jí)透鏡一級(jí)物鏡匯聚，使用二次電子探測(cè)器作為基礎(chǔ)成像單元。二次電子探測(cè)器采集器采用側(cè)位契合式設(shè)計(jì)，在保證采集信其二次電子分辨率可達(dá)全業(yè)內(nèi)最高的5.0nm @30kv SE。EM-30+標(biāo)配SE+BSE探測(cè)器，可以同時(shí)刻進(jìn)行二次電子像和背散射電子像收集，既能實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品形貌襯度分析、元素襯度進(jìn)行分析，又能實(shí)現(xiàn)將二者相結(jié)合進(jìn)行分析，打破了傳統(tǒng)臺(tái)式電鏡只能得到樣品單一襯度像的瓶頸。